能量色散X射線(xiàn)分析基于X射線(xiàn)熒光(X-Ray Fluorescence,XRF)原理。當高能X射線(xiàn)照射到樣品表面時(shí)，原子內部的電子會(huì )被激發(fā)至高能級，隨后躍遷回低能級時(shí)會(huì )釋放出特征X射線(xiàn)，即X射線(xiàn)熒光。這些特征X射線(xiàn)的能量與其原子序數直接相關(guān)，因此通過(guò)檢測并分析這些X射線(xiàn)的能量分布，就能準確識別樣品中的化學(xué)元素及其含量。

　　在實(shí)際應用中，能量色散X射線(xiàn)分析儀通常作為掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope,SEM）或透射電子顯微鏡（Transmission Electron Microscope,TEM）的附件使用，實(shí)現從微觀(guān)尺度上進(jìn)行精確的元素分布和定量分析。此外，獨立的便攜式能量色散X射線(xiàn)分析設備也在現場(chǎng)勘查、礦產(chǎn)資源評估、環(huán)保污染物監測、產(chǎn)品質(zhì)量控制等方面展現出顯著(zhù)優(yōu)勢。

　　能量色散X射線(xiàn)分析具有諸多優(yōu)點(diǎn)：首先，它無(wú)需復雜的樣品預處理，可以對固體、粉末、液體甚至薄膜等各種形態(tài)的樣品進(jìn)行直接分析；其次，其分析速度快、測量精度高，能夠有效滿(mǎn)足實(shí)驗室及現場(chǎng)實(shí)時(shí)分析的需求；再者，該技術(shù)能夠同時(shí)測定多種元素，且對輕元素也有較好的檢測能力，這在多元復雜體系的研究中尤為重要。